跟着半导体产业的速即发展，半导体建筑商场限度也在同步增长。关联数据剖析，2017年至2022年，大家半导体建筑商场限度从566亿好意思元耕作至1076.4亿好意思元。建筑商场扩增极大耕作了建筑零部件需求。据推算，2022年大家半导体建筑零部件采购额约为500亿好意思元。

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▲ WSTS于2023年6月份发表数据，2022年大家半导体商场销售额达到5741亿好意思元，2024年瞻望达到5760亿好意思元   数据来源：WSTS

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▲ 半导体建筑大家商场限度 贵府来源：SEMI，民生证券磋议院

按照结构组成，半导体零部件可或者分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器容颜类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等各式真空泵、各样阀件、压力计以及O型密封圈等。

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▲ 半导体建筑产业链险阻游图片来源：民生证券磋议院

VLSI Research 统计，近10年来半导体重要子系统供应商销售额排行，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家紧紧占据。用最直不雅的数据例如，一个月产4万片的晶圆厂，约莫需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵。可见真空系统在半导体行业的遑急性。

 一 半导体制造与真空系统 

半导体居品的通盘制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜千里积—互连—测试—封装 等门径，其中包括了上百个具体的工艺关节。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个关节。

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▲ 真空系统在半导体制造的主要应用关节

真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与满盈的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的混浊；❷终结气压，结束对半导体器件制造过程中的精准终结。笔据以上需求半导体建筑的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵居品组成。

现时大家半导体真空系统不管是居品水准照旧商场份额，欧洲厂商王人占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空居品的理念念联结伴伴。本文以 EDWARDS 部分居品为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理建筑在半导体制造中的应用。

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▲ 世界主要真空泵供应商积年销售额数据来源：VLSI research，EDWARDS，单元：百万好意思元

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▲ TechInsights 发布2023年十泰半导体建筑商的排行，EDWARDS 位列第四

● 干式真空泵

现时在半导体范围实行的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。

在半导体分娩线上，收支样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔王人需真空环境，但对真空系统的条目有所不同。

关于L/L腔抽真空，干式真空泵面对的主要挑战是耐受高频大气冲击；关于传输腔，干式真空泵面对的主要挑战是大气冲击以及终结特定气量下的压力；关于工艺腔抽真空，干式真空泵的条目是耐腐蚀，厚实性高，处理粉尘才能强及密封性粗略。

现时工艺处理腔真空系统主流大多是接收罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以 EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为比拟典型的应用形状，其主要笔据工艺挑战采纳合适的型号。

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▲ 自上而下永诀为：EDWARDS iXM 系列（粗劣耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘才能强）

● 分子泵

分子泵庸俗应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜千里积建筑、刻蚀建筑、离子注入机、原子层千里积（ALD）等重要建筑。

如 EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于条目高真空、低振动、无混浊、少珍爱的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在运转时代保管悬浮现象，根除了机械轴承带来的损坏风险，同期较大镌汰杂音和振动。

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▲ EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速率300L/s至4500L/s，极限压力<10-10mbar，工艺气体流量处理才能强

芯片分娩过程需不拆开使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生普遍的有毒无益的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质地和性能，在商场上享有较大声誉，在很多具有挑战性的半导体工艺中是理念念建筑。

● 尾气处理建筑

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半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等特质，不成径直排放至大气中，需要用尾气处理建筑将不可控的气体鬈曲为可控气体，以下为废气的排放旅途。

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半导体废气排放旅途

EDWARDS 以 Atlas 为代表的一系列尾气处理建筑具有粗略的气体处理后果，粉尘处理才能强和安全性高，获取了大家半导体客户的招供。同期尾气处理建筑与干式真空泵组成集成系统，以搪塞高风险工艺，耕作工艺厚实性与空间利用率，共同组成了 EDWARDS 好意思满的半导体真空及尾气处解析决决议。

 二 半导体真空系统珍爱、维修的遑急性 

纵不雅大家半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体建筑的条目已越来越尖酸。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品性、精度、可靠性、厚实性等各方面也面对着更高的措施。

关于真空系统及尾气处理建筑雷同如斯。真空系统是半导体建筑的遑急组成部分，真空泵运转情况的优劣径直影响制品的质地和建筑的安全。是以，对真空系统及尾气处理建筑依期检查、实时发现故障和处理，可有用省俭维修时刻，保证建筑安全经济运转。

而实在数据也施展了以上不雅点。通过分析2017年至2022年大家半导体真空泵商场限度情况咱们不错得出论断：维修商场与建筑商场共同组成了半导体真空泵商场全景，其中维修商场占比约25%，说明半导体真空泵领有广泛的维修商场。很多真空系统及尾气处理建筑是24小时不拆开运转的，维修建筑注定加多分娩资本，该数据也让半导体厂商相识到建筑检测、检查、珍爱、维修的遑急性。

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2017-2022年大家半导体真空泵商场限度情况 图片来源：华经产业磋议院

 三 优质售后事业 更好助力客户分娩 

另一方面，优质半导体真空系统供应商笔据商场及客户需求，在提供高品性建筑硬件的同期，耕作售后事业质地，保证居品厚实高效运转，更好的助力客户分娩。

手脚真空和尾气处理范围的大家联结伴伴，EDWARDS 售后事业团队一直助力现场运营，为客户提供优质事业。据统计，EDWARDS 独特万台建筑遍布寰宇，保证稠密建筑的平日运转，保险客户高效分娩，成为其售后事业团队的重要任务！

从装机与维修，到诊治与持续检阅，EDWARDS 售后事业团队运营责任之是以获取开阔半导体客户的招供，其原因主要体现时以下四个方面：

❶ 专科的售后事业团队

EDWARDS 售后事业团队在国内领有专科的半导体建筑维修、诊治技巧及数百名教训丰富的工程师，分享大家半导体建筑应用常识，同期领有国内居品应用、技巧因循、外洋居品研发等里面团队的强力因循，确保逍遥不同的客户需求，保证建筑的“健康”！

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❷ 问题反映更实时

EDWARDS 售后事业团队遍布寰宇数十个主要城市，事业东说念主员全天候反映。有用的事业战术，完善的问题处理和升级经过，确保更快更准地识别和贬贬低题，为客户镌汰分娩过程中的损成仇资本。

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❸ 现场功课更安全

售后事业团队分享 EDWARDS 大家安全料理体系，将公司安全料理主义和客户安全主义相集结，制定出合适客户和售后团队的现场安全料理体系。通过持续的风险评估和安全风险识别，制定搪塞措施镌汰风险，保证现场功课的安全性。通过售后团队成员持续提高的安全意志，保证现场建筑、东说念主员的安全以及客户分娩安全。

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❹ 事业质地更贴心

使用来孤高众事业教训制定的功课引导书，确保团队事业成员在提供客户事业前完成专科级居品培训认证，并持续耕作成员自本事段和事业技巧，旨在为客户提供更贴心的高质地事业；笔据现场客户规矩、分娩工艺和建筑生命周期，为客户量身定制优质事业权略，抓续检阅现场运营情况。

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手脚真空和尾气处理范围的贬责决议提供商，EDWARDS 售后事业团队凭借广泛的客户群体，集会大家半导体建筑数据和该范围全面的专科常识，天真诳骗事业料理当用系统，实时制定有用的事业战术，镌汰现场风险和不深信性，为客户打造大家级的真空系统及尾气处理建筑维修诊治贬责决议。

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